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高纯氩气纯化设备相关介绍

2021-12-15 18:29

  一、高纯氩气的简介

  氩作为制造单晶和多晶硅的保护气体,如何选择高纯氩气来提高硅晶体的质量,是制造硅晶体的问题。通过该高纯氩气装置的使用,在氩的纯度中氧气含量低于1ppm,水分也低于1ppm时,制造出来的单晶硅的氧碳含量低于0.5ppm,可以提高单晶的使用寿命,满足要求,从而获得客户满意和市场需求。

  因为一般的液体氩在汽化后没有提纯,所以它的氧气含量一般为2ppm~5ppm。煤气供应商提供的钚有时超出这个范围,使用钚的客户不知道其质量,因此经常影响产品的质量。使用氩精炼装置后,不管氩原料气体的质量如何,处理精制装置后进入拉结晶炉的氩,纯度总是恒定的。

  一般氧气含量低于0.5ppm,水分低于1ppm,因此稳定的氩保证了晶体生产的质量。

  二、高纯氩气的精制方法

  第一个:直接脱产法。使用活性金属与氩中的氧气反应,消化氩中的氧气,以达到脱氧目的,通过分子筛吸收氩中的水分,使氩含量低于1ppm。


高纯氩气


  第二种:是使用吸入剂。在一定温度下,吸入剂吸收氮、氢、氧、一 氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体进行处理后,氩的纯度可以达到6个、9个,这种保护气体更适合制造高纯度半导体的单晶硅。

  吸气剂精制后使用氩纯度:

  第一种方法是设备投资少,设备中脱氧剂的寿命一般大于4年。

  第二种方法是设备的纯化纯度高,但投资比较大,吸入剂的寿命为2年。

  本公司还可以根据客户的要求直接高压,这样就不必使用成型机增压工艺了。

  另外,根据客户要求,分析仪在线时可以检测设备的气体纯度。

  三、高纯氩气的应用

  高纯氩用于焊接、不锈钢制造和冶炼,半导体制造过程中化学气相沉积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩用作生产单晶硅和多晶硅的保护气体。

  主要用途:新老用户为本公司产品:氩净化器、氩净化器、高纯氩净化设备、YAC系列氩净化设备、全自动氩净化设备、大型氩净化设备、硅材料产业氩净化设备、硅材料气站。

服务热线:0532-66917876 / 13583208039

青岛城阳长松气体有限公司