高纯氩气纯化设备相关介绍

　　一、高纯氩气的简介

　　氩作为制造单晶和多晶硅的保护气体，如何选择高纯氩气来提高硅晶体的质量，是制造硅晶体的问题。通过该高纯氩气装置的使用，在氩的纯度中氧气含量低于1ppm，水分也低于1ppm时，制造出来的单晶硅的氧碳含量低于0.5ppm，可以提高单晶的使用寿命，满足要求，从而获得客户满意和市场需求。

　　因为一般的液体氩在汽化后没有提纯，所以它的氧气含量一般为2ppm~5ppm。煤气供应商提供的钚有时超出这个范围，使用钚的客户不知道其质量，因此经常影响产品的质量。使用氩精炼装置后，不管氩原料气体的质量如何，处理精制装置后进入拉结晶炉的氩，纯度总是恒定的。

　　一般氧气含量低于0.5ppm，水分低于1ppm，因此稳定的氩保证了晶体生产的质量。

　　二、高纯氩气的精制方法

　　第一个：直接脱产法。使用活性金属与氩中的氧气反应，消化氩中的氧气，以达到脱氧目的，通过分子筛吸收氩中的水分，使氩含量低于1ppm。

　　第二种：是使用吸入剂。在一定温度下，吸入剂吸收氮、氢、氧、一 氧化碳、二氧化碳、甲烷等气体进行处理后，氩的纯度可以达到6个、9个，这种保护气体更适合制造高纯度半导体的单晶硅。

　　吸气剂精制后使用氩纯度：

　　第一种方法是设备投资少，设备中脱氧剂的寿命一般大于4年。

　　第二种方法是设备的纯化纯度高，但投资比较大，吸入剂的寿命为2年。

　　本公司还可以根据客户的要求直接高压，这样就不必使用成型机增压工艺了。

　　另外，根据客户要求，分析仪在线时可以检测设备的气体纯度。

　　三、高纯氩气的应用

　　高纯氩用于焊接、不锈钢制造和冶炼，半导体制造过程中化学气相沉积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩用作生产单晶硅和多晶硅的保护气体。

　　主要用途：新老用户为本公司产品：氩净化器、氩净化器、高纯氩净化设备、YAC系列氩净化设备、全自动氩净化设备、大型氩净化设备、硅材料产业氩净化设备、硅材料气站。